好吊色欧美一区二区三区四区,成全视频在线观看免费高清动漫,国产亚洲精品拍拍拍拍拍,国产在线综合色视频

新聞資訊

NEWS INFORMATION

當前位置:首頁新聞資訊新品亮相|SPV/TPV高分辨時間分辨表面光電壓譜儀

新品亮相|SPV/TPV高分辨時間分辨表面光電壓譜儀

更新時間:2023-06-13點擊次數(shù):901

用于快速準確的半導體質(zhì)量控制和分析的新型生產(chǎn)車間工具

11.png



分析半導體從晶圓到終端器件的狀態(tài)被認為是高難度的工作,很少有分析設(shè)備可以直接用作生產(chǎn)中材料質(zhì)量好壞的“裁決者"。--表面光電壓技術(shù)

12.png

新品亮相

德國Freiberg Instruments全新的高分辨率表面光電壓光譜(HR-SPS)是一個真正的生產(chǎn)型設(shè)備,因為它在不影響工藝產(chǎn)出速度的情況下完成工作。HR-SPS檢查生產(chǎn)中使用的材料的關(guān)鍵良率參數(shù)-無論是硅、碳化硅還是其他半導體或光活性材料。

產(chǎn)品介紹

HR-SPS設(shè)備測量材料在一個或多個光源激發(fā)時的時間分辨表面光電壓響應(yīng)。根據(jù)材料的電子特性和材料中可能與良率損失相關(guān)的已知缺陷來選擇光源。

例如,在硅單晶晶片中,可能存在許多缺陷,這些缺陷可能導致器件加工過程中的產(chǎn)量損失。硅單晶晶片可能含有高濃度的氮,這些氮來自于氣泡生長周期或不同的器件加工步驟。氮原子可以在完善的硅晶體中形成取代對,該取代對會嚴重影響MOS柵極結(jié)構(gòu)的性能,因為該取代在硅片中形成不利的電子態(tài)。

HR-SPS設(shè)備不但可以測量這些缺陷的存在,還可以測量它們的近似密度。通過這種方式,晶圓批內(nèi)和晶圓批之間的變化可以通過設(shè)備/工具到主機接口協(xié)議進行監(jiān)控和報告,并用于SPC目的。

特點

HR-SPS是一款非常通用的設(shè)備,可以通過多種方式進行配置。

  • 它幾乎可以用于任何光活性材料,目前僅有的限制是帶隙能量,限制在5.8 eV。

  • 基本測量是納秒級時間分辨的表面光電壓信號,具有良好的信噪比和5-6數(shù)量級尺度。

  • 一次測量大約需要15-30秒,包括信號分析回路。

  • 輸出可以是任何東西,從一個好的/不好的標準到一個完整的測試材料狀態(tài)的測量與此同時,當然可以對符合SEMI標準的自動物料處理系統(tǒng)(AMHS)進行任何機械調(diào)整。

應(yīng)用

表面光電壓光譜-功率半導體研究4H-SiC的缺陷




截屏2023-06-12 19.32.01.png截屏2023-06-12 19.33.23.png

表面光電壓光譜-光化學/光催化水裂解研究3C-和4H-SiC的缺陷和電荷動力學



截屏2023-06-12 19.37.31.png

氧化鎵的表征



參考文獻:

[1] Th. Dittrich, S. Fengler, N. Nickel, “Surface photovoltage spectroscopy over wide time domains for semiconductors with ultrawide bandgap: example of gallium oxide", Phys. Stat. Sol. A 11 (2021) 2100176.

寬禁帶半導體體極化現(xiàn)象的非接觸探測

金剛石中的電子躍遷

光催化材料BiVO4的研究

光催化材料(TiO2)的研究與監(jiān)測

SiC、GaN和AlGaN的非接觸表征

更多……



了解更多詳情,請聯(lián)系我們~


掃一掃,關(guān)注公眾號

服務(wù)電話:

021-34685181 上海市松江區(qū)千帆路288弄G60科創(chuàng)云廊3號樓602室 wei.zhu@shuyunsh.com
Copyright © 2025束蘊儀器(上海)有限公司 All Rights Reserved  備案號:滬ICP備17028678號-2
YY111111少妇影院无码| 国产女人高潮视频在线观看| 强开小婷嫩苞又嫩又紧视频韩国| 日本乱偷互换人妻中文字幕| 亚洲va韩国va欧美va| 小蓝视频男男勇敢做自己最新| 午夜福利麻豆国产精品| 无码人妻丰满熟妇区bbbbxxxx| 亚洲熟女少妇一区二区 | 国产女人18毛片水真多1| 性XXXXX大片免费视频| 亚洲综合色一区二区三区| 欧美一进一出抽搐大尺度视频| 少妇挑战3个黑人叫声凄惨| 熟女人妻一区二区三区免费看| 精品人妻无码区二区三区| 天堂8中文在线最新版官网| 久久久久性色AV毛片特级| 亚洲av中文无码乱人伦在线视色| 日产亚洲一区二区三区| 不卡无在线一区二区三区观| 亚洲 欧美 中文 日韩aⅴ| 精品香蕉久久久午夜福利| yellow在线观看高清| 老司机带带我免费观看| 国产精品国产三级在线专区| 国产成人h视频在线播放| 四虎影视久久久免费| 公交车大龟廷进我身体里视频| 粗大挺进尤物人妻中文字幕| 性xxxfreexxxx性欧美| 国产69精品久久久久9999不卡| 欧美性潮喷xxxxx免费视频看| 精品深夜av无码一区二区| 久久久不卡国产精品一区二区| 欧美精产国品一二三产品| 久久久久国产一区二区三区| 无码人妻精品一二三区免费 | 又粗又硬又大又爽免费视频播放 | 无码国产精成人午夜视频一区二区| 国产一区二区三区精品|